高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是利用范德堡測(cè)量技術(shù)在不同溫度和不同磁場(chǎng)時(shí)對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻率、載流子濃度、磁致電阻率、霍爾系數(shù)、電子遷移率等進(jìn)行測(cè)量，用來(lái)表征和了解材料的物理性質(zhì)。該高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要可包括霍爾效應(yīng)測(cè)量控制系統(tǒng)、變溫控制器、磁場(chǎng)控制系統(tǒng)三部分。
高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性價(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀，在國(guó)內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和度。本儀器輕巧方便，易于攜帶，主要用于量測(cè)電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或體材料均可，其原理主要依據(jù)范德堡法則。除了用來(lái)判斷半導(dǎo)體材料之型態(tài)(n或p)以外，它也可應(yīng)用于LED磊晶層的質(zhì)量判定，也可以用來(lái)判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成，此未還可以用于太陽(yáng)能電池片的制程輔助。
高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要特點(diǎn)
1）寬的工作溫度范圍（70-730K）；
2）高的溫度穩(wěn)定性和重復(fù)性（±0.1K）；
3）可選電磁場(chǎng)（1.4T和5000高斯）和永磁體5000高斯；
4）靈活配置的模塊設(shè)計(jì)，可以根據(jù)經(jīng)費(fèi)和實(shí)驗(yàn)需求組建系統(tǒng)；
5）低運(yùn)行成本；
6）無(wú)機(jī)械、聲學(xué)和電子噪聲；
7）高溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀可與塞貝克效應(yīng)測(cè)試儀（熱電效應(yīng)測(cè)試儀或熱電系數(shù)測(cè)試儀）公用平臺(tái)。
